Thiết bị đo lưu lượng BRONKHORST FLEXI-FLOW Compact FF-C1x
Model:
FLEXI-FLOW Compact FF-C1x
Mã đặt hàng:
FF-A500
Xuất xứ: Hà Lan
Mô tả sản phẩm BRONKHORST Vietnam – Thiết bị đo lưu lượng BRONKHORST FLEXI-FLOW Compact FF-C1x:
Compact Mass Flow and Pressure Controller for Gases
Bộ điều khiển lưu lượng và áp suất khối lượng nhỏ gọn cho khí
• Kiểm soát nhanh và ổn định
• Mô hình chuyển đổi khí trên tàu
• 22 loại khí độc nhất được nhúng
• Đầu ra đa thông số: lưu lượng khối lượng, nhiệt độ và áp suất
• Giao tiếp USB-C và Bluetooth
• Chỉ báo trạng thái Namur NE107
Bộ điều khiển lưu lượng / áp suất khối lượng nhỏ FLEXI-FLOW phù hợp để đo và kiểm soát chính xác phạm vi lưu lượng từ 0… 500 ml n / phút đến 0… 20 l n / phút ở áp suất vận hành giữa chân không và 17 bar (a). Thiết bị kết hợp cảm biến lưu lượng khối lượng nhiệt nhanh và ổn định dựa trên công nghệ MEMS mao quản với kết cấu chính xác và đã được chứng minh. Do Công nghệ TCS (Thông qua Cảm biến Chip) độc đáo, được cấp bằng sáng chế quốc tế , phép đo lưu lượng khối lượng chính xác, không phụ thuộc vào sự thay đổi của nhiệt độ và áp suất dòng được thiết lập. Kết hợp với các cảm biến nhiệt độ và áp suất lên và xuống tích hợp, cơ sở dữ liệu nhúng cho 22 loại khí cho phép chuyển đổi chính xác trên bo mạch. Đa tham sốcông cụ cung cấp cho người dùng thông tin quy trình hữu ích.
Bộ điều khiển lưu lượng / áp suất khối lượng nhỏ FLEXI-FLOW hiện có sẵn trong 3 biến thể:
• ‘Được cấu hình sẵn nâng cao’ (PA) , quay vòng 1: 500, lưu lượng + nhiệt độ + áp suất lên và xuống, 4 dải lưu lượng (FS, dựa trên N 2 ):
Loại FF-A500 – 500 ml n / phút
Loại FF-A2K0 – 2 l n / phút
Loại FF-A5K0 – 5 l n / phút
Loại FF-A20K – 20 l n / phút
• ‘Tiêu chuẩn được cấu hình sẵn’ (PS) , quay đầu 1:50, lưu lượng + nhiệt độ, 4 dải lưu lượng (FS, dựa trên N 2 ):
Loại FF-S500 – 500 ml n / phút
Loại FF-S2K0 – 2 l n / phút
Loại FF-S5K0 – 5 l n / phút
Loại FF-S20K – 20 l n / phút
• ‘Tích hợp theo đơn đặt hàng’ (BtO) , lượt đi 1: 1000; lựa chọn tự do trong phạm vi từ 0,5 đến 20 l n / phút (FS, dựa trên N 2 ),
Loại FF-C10: lưu lượng + nhiệt độ
Loại FF-C11: lưu lượng + nhiệt độ + áp suất lên và xuống;
Các mô hình BtO cũng có thể được sử dụng để định cấu hình các phiên bản đa kênh lên đến 8 kênh.
• Thông số kỹ thuật
Hệ thống đo lường / điều khiển
Phạm vi dòng chảy (phạm vi trung gian có sẵn) tối thiểu 0… 500 ml n / phút
tối đa. 0… 20 l n / phút
(dựa trên N 2 )
Phạm vi áp suất PA: 0 … 17 bar (a)
PS: không khả dụng
BtO: FF-C10: không khả dụng / FF-C11: 0 … 17 bar (a)
Độ chính xác (bao gồm độ tuyến tính) (dựa trên hiệu chuẩn thực tế) PA: ± 0,8% Rd cộng với ± 0,2% FS (N 2 / Không khí / O 2 );
PS: ± 1,5% Rd cộng với ± 0,5% FS (N 2 / Không khí / O 2 );
BtO: Lên đến ± 0,5% Rd cộng với ± 0,1% FS (N 2 / Air / O 2 );
đối với các khí khác, thêm độ không đảm bảo chuyển đổi; xem bảng đa khí;
Độ lặp lại Cảm biến lưu lượng: <± 0,2% Rd;
Cảm biến áp suất: <± 0,2% FS
Tỷ lệ đầu hôm PS: 1:50
PA: 1: 500
BtO: lên đến 1: 1000
Tối đa áp lực vận hành 16 thanh g
Multi Gas / Multi Range dữ liệu khí nhúng cho 22 loại khí duy nhất cộng với bất kỳ hỗn hợp nào của các khí này
Thời gian giải quyết (trong kiểm soát, điển hình) < 150 mili giây
Sự ổn định lâu dài FS <0,5% trong thời gian 3 năm; sau đó <0,2% FS mỗi năm
Kiểm soát ổn định <± 0,1% FS (điển hình cho 1 l n / phút N 2)
Nhiệt độ hoạt động 0 … 50 ° C
Gắn bất kỳ vị trí nào, thái độ nhạy cảm không đáng kể
Nhạy cảm với nhiệt độ Cảm biến lưu lượng: 0 0,0015% FS / ºC; khoảng 0,03% Rd / ºC;
Cảm biến áp suất: không 0,16 mbar / ºC; khoảng 0,05% Rd / ºC
Độ chính xác nhiệt độ ± 0,2 ºC (nhiệt độ cơ thể thiết bị)
Cảm biến áp suất chính xác ± 0,5% FS
Độ nhạy áp suất tiêu chuẩn: <0,15% Rd / thanh điển hình N 2 ;
với hiệu chỉnh áp suất: <0,02% Rtđ thông thường N 2
Rò rỉ tính toàn vẹn, bên ngoài đã kiểm tra <2 x 10 -9 mbar l / s He
Rò rỉ qua van đóng điển hình <1 x 10 -4 mbar · l / s He
Bộ phận cơ khí
Vật liệu (các bộ phận được làm ướt) nhôm, thép không gỉ, silicon nitride, epoxy, nhôm oxit, thủy tinh
Chất lượng bề mặt < 1,6 mu Ra (<0,8 mu Ra đối với thân thép không gỉ)
Đánh giá áp suất (PN) 16 thanh (g) / 250 psig
Tối đa ΔP 16 vạch (d);
20 ln / phút kiểu máy: 5 bar (d)
Xử lý kết nối BtO: kiểu nén, khớp nối đẩy vào hoặc bịt kín mặt;
PS / PA: được đặt hàng riêng
Con dấu FKM 51415; chân van: FFKM với
tùy chọn PI film BtO: cho các vật liệu khác liên hệ với nhà máy
Trọng lượng 200 g với thân nhôm, 300 g với thân SS 316
Bảo vệ sự xâm nhập IP40
Cơ thể dụng cụ BtO: Nhôm hoặc thép không gỉ (có thể lựa chọn);
PS / PA: Nhôm
Đặc tính điện
Nguồn cấp 24 Vdc ± 10%
Tối đa sự tiêu thụ năng lượng 2,0 Watt
Giao tiếp kỹ thuật số Modbus RTU hoặc FLOW-BUS (có thể lựa chọn)
Giao diện hỗ trợ Cổng USB-C để thiết lập dễ dàng;
Kết nối Bluetooth tùy chọn để giám sát
Kết nối điện D-sub 9 chân (đực)
CE EMC 2014/30 / EU, RED 2014/53 / EU, RoHS 2011/65 / EU
Tài liệu: FLEXI-FLOW Compact FF-C1x.PDF
Pitesco là nhà phân phối của BRONKHORST tại Việt Nam – BRONKHORST Vietnam