Công Nghệ MEMS – Sức Mạnh Của Thế Giới Kỹ Thuật Số MEMS (MicroElectroMechanical Systems), viết tắt của Hệ thống Vi Cơ Điện Tử Siêu Nhỏ, là công nghệ phát triển các thiết bị cực nhỏ với bộ phận chuyển động, tận dụng công nghệ sản xuất chip. Thiết bị MEMS tích hợp thành phần […]
